电容式位移传感器及测量系统 

测量原理
  nanoCDMS(非接触电容位移传感器)是基于平行板电容原理设计开发的，传感器与被测物体各自等效为一个平板电极，通过激励电路给传感器一个稳定持续的激励信号，激励信号的幅值变化与电容到被测物体间的距离成正比。激励信号经过精密解调电路解调，通过相应的算法得出电容与距离的比例关系。

C=Ɛ0*Ɛr*   

  电容C与有源传感器表面A成正比，d是传感器和目标表面之间的距离，Ɛ0是一个常数，Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数，一般为空气。

C-电容

A-有源传感器表面

D-传感器和目标表面之间的距离

Ɛ0-常数

Ɛr-电容器极板之间材料的介电常数

优势特点

-非接触式测量，无磨损

-三电极结构和电场屏蔽环构造

-近距离高精度，测量精度可达纳米级

-单一通道多通道可选

-探头对被测物体不施机械外力

-被测物体导电性强弱不影响测量