电容式位移传感器及测量系统
测量原理
nanoCDMS(非接触电容位移传感器)是基于平行板电容原理设计开发的,传感器与被测物体各自等效为一个平板电极,通过激励电路给传感器一个稳定持续的激励信号,激励信号的幅值变化与电容到被测物体间的距离成正比。激励信号经过精密解调电路解调,通过相应的算法得出电容与距离的比例关系。
C=Ɛ0*Ɛr*
电容C与有源传感器表面A成正比,d是传感器和目标表面之间的距离,Ɛ0是一个常数,Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数,一般为空气。
C-电容
A-有源传感器表面
D-传感器和目标表面之间的距离
Ɛ0-常数
Ɛr-电容器极板之间材料的介电常数
优势特点
-非接触式测量,无磨损
-三电极结构和电场屏蔽环构造
-近距离高精度,测量精度可达纳米级
-单一通道多通道可选
-探头对被测物体不施机械外力
-被测物体导电性强弱不影响测量
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