高精度电容位移测量系统(CDMS)

产品简介:

        CDMS使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。基于理想平板电容原理设计研发的,被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电,交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调,可以输出为模拟量信号。


        CDMS采用了三同轴屏蔽结构和降噪传输电缆技术,通过电场环形屏蔽,实现了超高精度、纳米级分辨力、超高稳定性和抗干扰测量。CDMS具有以下特点:

 

        (1)非接触,不干涉被测系统;

        (2)超高精度和稳定性,最高精度可至0.02%;

        (3)纳米级分辨力,分辨力可至1nm以下;

        (4)可应用范围广,如高精密测量、工业生产线、高速高温、科研试验等场合。

性能指标:


应用说明:

        CDMS可用于位移、形变、尺寸、厚度、介电常数、绝缘层、振动、刚度等参数测量,应用场合包括高精度测量科研实验、工业智能制造、产品加工质量控制等领域。


2016年08月09日

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三同轴电容传感器(CS)
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