测量原理
nanoCDMS(非接触电容位移传感器)是基于平行板电容原理设计开发的,传感器与被测物体各自等效为一个平板电极,通过激励电路给传感器一个稳定持续的激励信号,激励信号的幅值变化与电容到被测物体间的距离成正比。激励信号经过精密解调电路解调,通过相应的算法得出电容与距离的比例关系。
电容C与有源传感器表面A成正比,d是传感器和目标表面之间的距离,Ɛ0是一个常数,Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数,一般为空气。
C-电容
A-有源传感器表面积
D-传感器和目标表面之间的距离
Ɛ0-常数
Ɛr-电容器极板之间材料的介电常数
测量原理
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