nanoCDMS(非接触电容位移传感器)是基于平行板电容原理设计开发的，传感器与被测物体各自等效为一个平板电极，通过激励电路给传感器一个稳定持续的激励信号，激励信号的幅值变化与电容到被测物体间的距离成正比。激励信号经过精密解调电路解调，通过相应的算法得出电容与距离的比例关系。 

  电容C与有源传感器表面A成正比，d是传感器和目标表面之间的距离，Ɛ0是一个常数，Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数，一般为空气。

C-电容

A-有源传感器表面积

D-传感器和目标表面之间的距离

Ɛ0-常数

Ɛr-电容器极板之间材料的介电常数