电容式位移传感器应用案例

 

应用一 高精度定位

1)高精度位移机构的定位传感器,尤其是纳米级定位。如封装机中的位移机构,压电陶瓷电机,音叉电机,纳米位移台等;

2)快速伺服机构的高精度定位,如机床的位移控制机构;

3)相对运动或相对位置的精确定位,重复定位;

4)静力水准仪,用于大型设施高精度水平控制。

 

应用二 位移变形角度振动等测量

1)转轴、位移台等移动位移、直线度、平面度测量;

2)材料刚度、挠度、膨胀、变形等精密测量;

3)高精度角度传感器或旋转编码器;

4)振动测量,如主动隔振系统、半导体制造平台或晶圆片的微小振动、航天部件超高频微小振动检测等。

 

应用三 厚度检测

1)油膜、水膜、绝缘层厚度;

2)零件、薄膜、光盘、磁性介质厚度;

3)刹车片厚度检测(磨损检测);

 

应用四 旋转机械间隙、跳动测量

1)轴心轨迹或跳动监测、如高精度电机主轴、机床主轴、硬盘驱动电机、轴承等;

2)发动机转子轴向间隙、级间间隙、蓖齿间隙检测;

3)发动机、转子等装配间隙检测;

 

应用五 自动对焦或调零

1)天文望远镜等对焦对准或位移机构控制;

2)半导体加工过程光学镜头对焦或调零控制;

3)激光切割机或焊接机对准调零控制;

 

应用六 介电常数检测

1)油液品质检测;

2)非导电材料密度测量;

3)培养皿液面高度测量;

4)物料水份的测量;

5)绝缘层破损检测;

6)塑料薄膜厚度检测,锂电池复合膜厚度检测。

 

enlightened薄膜厚度测量

随着薄膜厚度的变化,传感器与金属辊间的介电常数会发生变化,从而测出薄膜厚度的变化。

 

 

enlightened油膜厚度测量

随着油膜厚度的变化,传感器与活塞间的介电常数会发生变化,从而测出油膜厚度的变化。

 

 

enlightened晶圆厚度测量

 

 

enlightened轧钢板厚度测量

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