电容式位移传感器应用案例
电容传感器技术的应用场合广阔,包括高精度测量仪器、工业智能制造、产品加工质量控制、航空航天等领域。
应用一 高精度定位
1)高精度位移机构的定位传感器,尤其是纳米级定位。如封装机中的位移机构,压电陶瓷电机,音叉电机,纳米位移台等;
2)快速伺服机构的高精度定位,如机床的位移控制机构;
3)相对运动或相对位置的精确定位,重复定位;
4)静力水准仪,用于大型设施高精度水平控制。
应用二 位移变形角度振动等测量
1)转轴、位移台等移动位移、直线度、平面度测量;
2)材料刚度、挠度、膨胀、变形等精密测量;
3)高精度角度传感器或旋转编码器;
4)振动测量,如主动隔振系统、半导体制造平台或晶圆片的微小振动、航天部件超高频微小振动检测等。
应用三 厚度检测
1)油膜、水膜、绝缘层厚度;
2)零件、薄膜、光盘、磁性介质厚度;
3)刹车片厚度检测(磨损检测);
应用四 旋转机械间隙、跳动测量
1)轴心轨迹或跳动监测、如高精度电机主轴、机床主轴、硬盘驱动电机、轴承等;
2)发动机转子轴向间隙、级间间隙、蓖齿间隙检测;
3)发动机、转子等装配间隙检测;
应用五 自动对焦或调零
1)天文望远镜等对焦对准或位移机构控制;
2)半导体加工过程光学镜头对焦或调零控制;
3)激光切割机或焊接机对准调零控制;
应用六 介电常数检测
1)油液品质检测;
2)非导电材料密度测量;
3)培养皿液面高度测量;
4)物料水份的测量;
5)绝缘层破损检测;
6)塑料薄膜厚度检测,锂电池复合膜厚度检测。
电容式位移传感器应用案例
产品中心
PRODUCTS CENTER
Copyright © 2016 善测(天津)科技有限公司 All rights reserved 津ICP备19010072号 津公网安备12011102000898号 技术支持:Facecloud