电容传感器技术的应用场合广阔，包括高精度测量仪器、工业智能制造、产品加工质量控制、航空航天等领域。

应用一 高精度定位

1）高精度位移机构的定位传感器，尤其是纳米级定位。如封装机中的位移机构，压电陶瓷电机，音叉电机，纳米位移台等；

2）快速伺服机构的高精度定位，如机床的位移控制机构；

3）相对运动或相对位置的精确定位，重复定位；

4）静力水准仪，用于大型设施高精度水平控制。

应用二 位移变形角度振动等测量

1）转轴、位移台等移动位移、直线度、平面度测量；

2）材料刚度、挠度、膨胀、变形等精密测量；

3）高精度角度传感器或旋转编码器；

4）振动测量，如主动隔振系统、半导体制造平台或晶圆片的微小振动、航天部件超高频微小振动检测等。

应用三 厚度检测

1）油膜、水膜、绝缘层厚度；

2）零件、薄膜、光盘、磁性介质厚度；

3）刹车片厚度检测（磨损检测）；

应用四 旋转机械间隙、跳动测量

1）轴心轨迹或跳动监测、如高精度电机主轴、机床主轴、硬盘驱动电机、轴承等；

2）发动机转子轴向间隙、级间间隙、蓖齿间隙检测；

3）发动机、转子等装配间隙检测；

应用五 自动对焦或调零

1）天文望远镜等对焦对准或位移机构控制；

2）半导体加工过程光学镜头对焦或调零控制；

3）激光切割机或焊接机对准调零控制；

应用六 介电常数检测

1)油液品质检测；

2)非导电材料密度测量；

3)培养皿液面高度测量；

4)物料水份的测量；

5)绝缘层破损检测；

6)塑料薄膜厚度检测，锂电池复合膜厚度检测。