1、高精度定位
(1)高精度位移机构的定位传感器,尤其是纳米级定位。如封装机中的位移机构、压电陶瓷电机、音叉电机、纳米位移台等。

(2)快速伺服机构的高精度定位,如机床的位移控制机构。

(3)相对运动或相对位置的精确定位,重复定位。

(4)静力水准仪,用于大型设施高精度水平控制。

2、位移变形角度振动等测量
(1)转轴、位移台等移动位移、直线度、平面度测量。
(2)材料刚度、挠度、膨胀、变形等精密测量。
(3)高精度角度传感器或旋转编码器。
(4)振动测量,如主动隔振系统、半导体制造平台或晶圆片的微小振动、 航天部件超高频微小振动检测等。

3、厚度检测
(1)油膜、水膜、绝缘层厚度。
(2)零件、薄膜、光盘、磁性介质厚度刹车片厚度检测(磨损检测)。

4、旋转机械间隙、跳动测量
(1)轴心轨迹或跳动监测、如高精度电机主轴、机床主轴、硬盘驱动电机、轴承等。
(2)发动机转子轴向间隙、级间间隙、齿间隙检测。
(3)发动机、转子等装配间隙检测。

5、自动对焦或调零
(1)天文望远镜等对焦对准或位移机构控制。
(2)半导体加工过程光学镜头对焦或调零控制。
(3)激光切割机或焊接机对准调零控制。

6、介电常数检测
(1)油液品质检测。
(2)非导电材料密度测量。
(3)培养皿液面高度测量。
(4)物料水份测量。
(5)绝缘层破损测量。

— 应用场景 —